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質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器差壓式質(zhì)量流量控制器科里奧質(zhì)量流量計流量控制器熱式流量控制器

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格里爾斯科氏氣體流量控制器它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
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微小流量質(zhì)量流量控制器

更新時間：2024-06-25

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GRYLLS 5950質(zhì)量流量控制器

更新時間：2024-06-25

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GRYLLS5950高精度質(zhì)量流量控制器

更新時間：2024-06-25

型號：

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GRYLLS 5950高精度質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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